功率控制器

产品简介：

AS 系列功率控制器采用模组设计思路，内部集成最多6 回路。产品主要应用于扩散炉、PECVD、外延炉等。

产品特点：

Ø 体积小，内部集成6 个调功回路，每个回路独立控制

Ø 每个回路带内置快熔AS

Ø 结构紧凑、操作简单

Ø 下拉式盖板，方便接线和维护

Ø 采用过零控制，对电网无污染

Ø 下置送风风机，使用寿命更长

Ø 每个回路带独立控制板，互不影响

Ø 集成6 路独立4～20MA 给定信号，具备电流限制功能

主要参数：